Productos para análisis de gases residuales
RGA Series
Sistemas para el examen de componentes presentes en un recipiente o evolucionados de un proceso. Mide la concentración de gases y vapores en tiempo real.
HALO
Un analizador de gases residuales para análisis de huellas dactilares de vacío, detección de fugas y análisis de tendencias.
Opciones de fuente de Iones
Una gama de fuentes de iones de impacto de electrones que se pueden suministrar con cualquiera de nuestros analizadores de gases residuales. Configura analizadores de gases residuales para aplicaciones específicas, por ejemplo, análisis de haz molecular.
HTM
Un sistema RGA de modo dual para diagnóstico de vacío y monitoreo de procesos sin bombeo diferencial. Mide los gases residuales, procesa contaminantes y proporciona detección de fugas.
HAL 201 RC
Un analizador de gas residual configurado para aplicaciones UHV exigentes. Mide la concentración de gases y vapores en tiempo real.
HALO 201 MBE
Un sistema de gas residual configurado para aplicaciones de epitaxia de haz molecular. Mide gases residuales y proporciona detección de contaminación y fugas en sistemas MBE.
EPIC / EPIC 1000 Series
Un sistema para análisis UHV de neutrales, radicales e iones. Mide los iones, los neutros y presiones parciales en UHV / XHV.
IDP / IDP 1000 Series
Un sistema para el análisis de iones, neutros y radicales en estudios de desorción de UHV. Mide iones y neutros en la desorción estimulada por electrones y fotones.
3F Series / 1000 Series RGA
Un sistema para aplicaciones científicas y de procesos de alta precisión. Mide las presiones parciales de los gases residuales con una resolución ultra alta y opciones de rango de masa extendido hasta 1000 AMU.
XBS
Un sistema para el monitoreo de múltiples fuentes en aplicaciones de deposición de MBE. Para análisis de haz molecular y control de velocidad de deposición.
3F PIC / 1000 Series PIC
Los cuadrupolos de la serie 3F PIC de Hiden son analizadores de triple filtro de alta precisión con detectores digitales para la máxima sensibilidad y resolución de tiempo en aplicaciones UHV TPD.
DLS-1
Un sistema para la investigación de la fusión tokamak / torus. Mide la concentración de pureza del gas combustible de fusión, incluidos los isótopos de hidrógeno, por ejemplo, deuterio en helio.
DLS-10
Espectrómetro de masas cuadrupolo de ultra alta resolución. Diseñado específicamente para el análisis de isótopos de hidrógeno, helio y gases ligeros.
DLS-20
Espectrómetro de masas cuádruple de ultra alta resolución de conmutación de zona dual única. Diseñado específicamente para el análisis de isótopos de hidrógeno, helio y gases ligeros.
HAL 101X
Un sistema para la investigación de la fusión tokamak / torus con montaje de analizador remoto hasta 140 m. Incluye el modo TIMS del sistema DLS-1 para medir la concentración de pureza del gas combustible de fusión, incluidos los isótopos de hidrógeno, por ejemplo, deuterio en helio.
